據(jù)了解，每當(dāng)一個(gè)凈化工程完工以后，都必須要進(jìn)行高效過(guò)濾器的掃描檢漏：0.3μm以上粒子連續(xù)增加為0個(gè)。這樣檢漏的目的是檢查高效過(guò)濾器的安裝及與凈化車間的接縫處，有無(wú)破損和裂縫，有無(wú)塵埃泄漏。

　　檢測(cè)器：Lasair-110、測(cè)定用的臺(tái)車等。

　　試驗(yàn)條件：動(dòng)力空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)行良好，環(huán)境滿足凈化要求。

　　測(cè)定點(diǎn)：全部高效過(guò)濾器。

　　測(cè)定方法：高效過(guò)濾器區(qū)域。

　　采樣口與高效過(guò)濾器的距離30 mm，掃描速度50 mm/s。

　　檢查高效過(guò)濾器的平面及周邊有無(wú)塵埃泄漏。

　　b)沉降粒子

　　標(biāo)準(zhǔn)：粒子總數(shù)增加不超過(guò)100個(gè)，塵埃的增加數(shù)<100個(gè)，當(dāng)超出規(guī)格時(shí)，需再檢一次。試驗(yàn)條件：動(dòng)力空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)行良好，環(huán)境滿足凈化要求。

　　測(cè)定方法：將符合要求的參考片水平放硅片盒上;經(jīng)過(guò)24 h后，測(cè)定并計(jì)算塵埃數(shù)之差。

　　c)浮游粒子

　　標(biāo)準(zhǔn)：作業(yè)室0.3μm以上粒子<35個(gè)/CF，用力室0.5μm以上粒子<1000個(gè)/CF。

　　測(cè)定方法：將激光粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量調(diào)整到1CFM，連續(xù)檢測(cè)3 min，取平均值，測(cè)定高度在工作面區(qū)域約為800 mm~1200 mm。

　　此方法是工程中經(jīng)常采用的方法。

　　一般情況下，最末一級(jí)高效過(guò)濾器的過(guò)濾效率決定凈化間的潔凈度級(jí)別，以0.3μm、100級(jí)潔凈間的空氣凈化系統(tǒng)為例分析，工程實(shí)踐中一般要選擇0.12μm、99.999%的ULPA。

　　外氣經(jīng)過(guò)噴淋，又經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器和超高效過(guò)濾器后，檢測(cè)凈化間的塵埃分布為：0.1μm~0.3μm的塵埃為8.76個(gè)/ft3;大于等于0.3μm的塵埃為35個(gè)/ft3。與表1比較發(fā)現(xiàn)可以滿足凈化間的凈化級(jí)別。因此，選擇最末一級(jí)過(guò)濾器的過(guò)濾效率對(duì)滿足凈化間的凈化級(jí)別有重要的意義。

　　塵粒影響高效過(guò)濾器的壽命

　　如今無(wú)塵車間的系統(tǒng)，中由于在冬季安裝上化學(xué)高效過(guò)濾器后，活性炭粒的發(fā)塵量較大致使后面的高效過(guò)濾器容易堵塞，阻力增加較快導(dǎo)致更換頻繁。另外，100級(jí)潔凈間的過(guò)濾器級(jí)別的級(jí)差比較大。